氩气的纯度要控制在99.9%以上，其中杂质氧小于0.005%以下，氢0.005%以下，水份0.02mg/L以下，氮0.015%以下。氧、氮增多均恶化阴极雾化作用。氧超过0.3%则使钨极烧损加剧，超过0.1%氧则使焊缝表面无光泽或发黑，氮超过0.05%熔池的流动性变坏，焊接表面成形不良。